使用材料

氮化鋁(AlN)

聯系(xi)過去Al2O3和(he)BeO襯底食(shi)材的(de)(de)總(zong)合安(an)(an)全(quan)(quan)效果(guo)優越,氮化鋁(lv)(AlN)工(gong)業陶(tao)瓷圖(tu)片極(ji)具(ju)高導(dao)電(dian)(dian)性(xing)(單單晶體(ti)體(ti)的(de)(de)概念導(dao)電(dian)(dian)比率275W/m?k、 多單晶體(ti)體(ti)的(de)(de)概念導(dao)電(dian)(dian)彈(dan)性(xing)數值為70~210W/m?k) ,相對(dui)介電(dian)(dian)常數低,熱(re)增加彈(dan)性(xing)數值與單單晶體(ti)體(ti)硅(gui)相配對(dui),極(ji)具(ju)很(hen)好的(de)(de)電(dian)(dian)隔絕安(an)(an)全(quan)(quan)效果(guo),是(shi)微(wei)電(dian)(dian)子技術器材市場電(dian)(dian)路設計柔性(xing)板和(he)封口的(de)(de)夢想食(shi)材。可能其(qi)很(hen)好的(de)(de)常溫流(liu)體(ti)力學安(an)(an)全(quan)(quan)效果(guo)、熱(re)安(an)(an)全(quan)(quan)效果(guo)和(he)耐(nai)腐蝕(shi)平穩性(xing),它也是(shi)常溫結構的(de)(de)工(gong)業陶(tao)瓷圖(tu)片部件的(de)(de)為重要食(shi)材。

AlN的(de)(de)(de)本(ben)體論密度(du)單位為3.26g/cm3,MOHS堅(jian)硬程度(du)為7-8,溫(wen)度(du)內阻率超過1016Ωm,熱增長(chang)率是3.5×10-6/℃(溫(wen)度(du)200℃)。純AlN瓷器是無色(se)白色(se)的(de)(de)(de)白色(se)的(de)(de)(de),但在雜(za)物的(de)(de)(de)留(liu)存,患(huan)者會變(bian)身成為各種類型色(se)澤,如(ru)黑(hei)灰色(se)、灰白色(se)色(se)或淡淡的(de)(de)(de)黃色(se)色(se)。


AlN瓷(ci)器除(chu)具備(bei)高熱傳導(dao)性外,還具備(bei)下例優缺點:


1.電(dian)力電(dian)氣接地很(hen)好;

2.熱收縮比率與硅(gui)多晶硅(gui)相進,相對(dui)比較(jiao)Al2O3、BeO等建(jian)筑材料;

3.擁有較高(gao)的自(zi)動化硬度和與Al2O3淘瓷相仿的彎曲變形硬度;

4.導熱系數(shu)和介電(dian)消耗優惠;

5.與BeO對比,AlN陶瓷(ci)圖片(pian)的熱導率受(shou)高(gao)溫(wen)的影響(xiang)力較小,非常是在200℃以下;

6.耐(nai)溫度高、耐(nai)被腐(fu)蝕;

7.無氣味;

8.可于于半導(dao)體(ti)技(ji)術化學式化工、化學式有色金屬(shu)化學式化工等化學式化工行(xing)業領域。


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